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EUV光刻胶! 清华大学取得重要进展

EUV光刻胶! 清华大学取得重要进展

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本文由半导体产业纵横(ID:ICVIEWS)综合

清华大学开发出一种基于聚碲氧烷的新型光刻胶。

近日,清华大学化学系许华平教授团队在极紫外(EUV)光刻材料上取得重要进展,开发出一种基于聚碲氧烷(Polytelluoxane, PTeO)的新型光刻胶,为先进半导体制造中的关键材料提供了新的设计策略。

光刻胶是半导体制造过程中的一种关键材料,它是一种在光照下发生化学反应的聚合物溶液。通过将光刻胶涂布在硅片表面,再利用光掩膜进行曝光,并经过化学处理和洗涤,将需要加工的芯片图形转移至硅片表面,使得芯片产品得到精密加工和制造。

光刻胶在半导体芯片制造中扮演着关键的角色。它不仅是半导体生产线中的必要工具,也是实现微米级别精密加工的必要材料。通过光刻胶的特殊性质,芯片生产线可以有效的控制芯片制造的精度和质量,保证芯片产品的高品质、高稳定性和高性能。

随着集成电路工艺向7nm及以下节点不断推进,13.5 nm波长的EUV光刻成为实现先进芯片制造的核心技术。但EUV光源反射损耗大、亮度低等特点,对光刻胶在吸收效率、反应机制和缺陷控制等方面提出了更高挑战。当前主流EUV光刻胶多依赖化学放大机制或金属敏化团簇来提升灵敏度,但常面临结构复杂、组分分布不均、反应容易扩散,容易引入随机缺陷等问题。如何突破这些瓶颈,构建理想光刻胶体系,成为当前EUV光刻材料领域的核心挑战。

学界普遍认为,理想的EUV光刻胶应同时具备以下四项关键要素:

1、高EUV吸收能力,以减少曝光剂量,提升灵敏度;

2、高能量利用效率,确保光能在小体积内高效转化为光刻胶材料溶解度的变化;

3、分子尺度的均一性,避免组分随机分布与扩散带来的缺陷噪声;

4、尽可能小的构筑单元,以消除基元特征尺寸对分辨率的影响,减小线边缘粗糙度(LER)。长期以来,鲜有材料体系能够同时满足这四个标准。

许华平教授课题组基于团队早期发明的聚碲氧烷开发出一种全新的EUV光刻胶,满足了上述理想光刻胶的条件。在该项研究中,团队将高EUV吸收元素碲(Te)通过Te─O键直接引入高分子骨架中。碲具有除惰性气体元素氙(Xe)、氡(Rn)和放射性元素砹(At)之外最高的EUV吸收截面,EUV吸收能力远高于传统光刻胶中的短周期元素和Zn、Zr、Hf和Sn等金属元素,显著提升了光刻胶的EUV吸收效率。同时,Te─O键较低的解离能使其在吸收EUV后可直接发生主链断裂,诱导溶解度变化,从而实现高灵敏度的正性显影。这一光刻胶仅由单组份小分子聚合而成,在极简的设计下实现了理想光刻胶特性的整合,为构建下一代EUV光刻胶提供了清晰而可行的路径。

聚碲氧烷:理想的EUV光刻胶材料

该研究提供了一种融合高吸收元素Te、主链断裂机制与材料均一性的光刻胶设计路径,有望推动下一代EUV光刻材料的发展,助力先进半导体工艺技术革新。

相关成果以“聚碲氧烷作为EUV光刻胶的理想配方”(Polytelluoxane as the ideal formulation for EUV photoresist)为题,于7月16日发表于《科学进展》(Science Advances)期刊。

清华大学化学系2024级博士生周睿豪为论文第一作者,2020级博士生曹木青参与了本工作。清华大学化学系许华平教授为通讯作者,清华大学集成电路学院客座教授马克·奈瑟(Mark Neisser)与江南大学化学与材料工程学院谭以正副教授为共同通讯作者。该研究得到国家自然科学基金重点项目的资助支持。

目前,国际光刻胶巨头凭借其长期的技术积累和市场优势,在高端光刻胶领域占据了主导地位。这些企业不仅拥有先进的生产技术和设备,还具备强大的研发能力和丰富的市场经验。例如,日本JSR在光刻胶领域拥有超过50年的研发和生产经验,其产品涵盖了从g线、i线到KrF、ArF、EUV等全系列光刻胶。JSR每年投入大量的资金用于研发,不断推出新产品,以满足市场对高端光刻胶的需求。此外,JSR还与全球主要的芯片制造企业建立了长期稳定的合作关系,进一步巩固了其市场地位。其他国际巨头如东京应化、信越化学、杜邦等也各自在光刻胶领域拥有独特的优势,形成了强大的竞争壁垒。清华大学的最新突破给国产半导体行业的发展打开新的大门。

*声明:本文系原作者创作。文章内容系其个人观点,我方转载仅为分享与讨论,不代表我方赞成或认同,如有异议,请联系后台。

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发布于:北京市
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