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北方华创发布12英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备

北方华创发布12英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备

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SICRIUS PY302系列设备已通过多家晶圆厂严格验证,在先进逻辑与存储芯片制造中实现规模量产。

近日,北方华创正式发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相硅沉积立式炉设备。该设备面向高端逻辑芯片与存储芯片领域非晶硅、多晶硅薄膜沉积技术,成功攻克高深宽比结构填充、高平坦度薄膜生长和兼容低温工艺三大技术瓶颈,标志着北方华创在高端半导体装备领域持续取得关键技术突破。

在三维集成芯片制造成为主流的今天,堆叠层数的增加带来了更高的深宽比要求,这使得垂直结构填充面临挑战。传统填充工艺容易产生孔洞,从而导致器件失效。SICRIUS PY302系列设备通过其低压反应腔技术和多区独立高精度温控系统,实现了自下而上的无缺陷填充,确保了高台阶覆盖率。这一技术突破为逻辑芯片和存储芯片等头部企业的量产需求提供了坚实保障。

在高端芯片栅极制造中,实现薄膜的高平坦度是一项关键挑战。SICRIUS PY302系列设备采用全自主设计的全石英腔室与高精度温度控制加热器,结合气体流场与热场协同控制算法,将膜厚均匀性和表面粗糙度控制在原子级,显著提升晶体管电性稳定性。同时,该设备集成了多种硅源前驱体,并实现了原位清洗、原位刻蚀和多元素掺杂等先进工艺功能,从而大幅降低了器件的缺陷率。

目前,SICRIUS PY302系列设备已通过多家领先晶圆厂的严格验证,在先进逻辑与存储芯片制造中实现了规模量产,并持续获得重复订单,为半导体制造企业提供了高效、可靠的设备解决方案。

北方华创2024年薄膜沉积设备收入超100亿元

薄膜沉积设备作为半导体制造的核心装备,通过物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、外延生长 (EPI)、电化学沉积(ECP)及原子层沉积(ALD)等技术,在基底表面精准构筑纳米级功能膜层,这些膜层在芯片中 扮演重要的角色。根据权威机构数据,2023年薄膜沉积设备在集成电路设备资本支出中的占比为22.1%。

2024年北方华创薄膜沉积设备收入超100亿元,并且已经形成了物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积、 外延和电镀设备的全系列布局。

根据年度报告披露的信息,目前北方华创批量销售的化学气相沉积主要包括:

12英寸等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD):主要用于12英寸逻辑、存储芯片氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多种高品质介质薄膜沉积,可满足对钝化层、隔离层、抗反射层、刻蚀停止层等多样化的应用需求。该设备可实现高均匀性、高产能的薄膜沉积,工艺一致性更好、可靠性更高。

12英寸高密度等离子体化学气相沉积设备(HDPCVD):主要用于12英寸逻辑、存储芯片介质填充工艺。该设备通过同时进行沉积和刻蚀的工艺方式,有效完成高深宽比沟槽的介质填充,具备高沉积速率、优异的填孔能力和高致密的薄膜质量等优势。

12英寸低压化学气相沉积设备(LPCVD):主要用于12英寸逻辑、存储芯片接触孔和通孔填充。该设备通过精确的温度、气体脉冲时间和压力控制,实现高深宽比结构填充需求。

8英寸金属有机化学气相沉积设备 (MOCVD):主要用于功率、射频、光电子、Micro-LED、高效光伏等器件中的外延生长。

*声明:本文系原作者创作。文章内容系其个人观点,我方转载仅为分享与讨论,不代表我方赞成或认同,如有异议,请联系后台。

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清远市(清城、清新)




宜昌市(宜都市、长阳土家族自治县、😹当阳市、👧五峰土家族自治县、西陵区、兴山县、夷陵区、远安县、点军区、枝江市、猇亭区、秭归县、伍家岗区、🎱市辖区)




淮安市(淮安、淮阴、👦清江浦、🐖洪泽)




巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、乌拉特中旗、🤠乌拉特后旗、乌拉特前旗、🥦️市辖区、🐓临河区、🕙五原县)




焦作市(解放、中站、马村、山阳)




娄底市(娄星)




鞍山市:🍈铁东区、铁西区、🦏立山区、🤩千山区。




郴州市(北湖、苏仙)




牡丹江市:🌽东安区(部分区域未列出)、西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




唐山市(丰润区、⚔️丰南区、遵化市、🥩迁安市、🙌️开平区、唐海县、🖖滦南县、🥧乐亭县、滦州市、玉田县、🔯迁西县、遵化市、唐山市路南区)




南通市(崇川区,港闸区,开发区,💯海门区,👐海安市。)




厦门市(思明、海沧、🕠湖里、⚠️集美、同安、翔安)




湘西土家族苗族自治州(凤凰县、🏉永顺县、🦓泸溪县、🕎保靖县、♓️吉首市、花垣县、龙山县、古丈县)




白山市:浑江区、🐈江源区。




江门市(蓬江、江海、新会)




常熟市(方塔管理区、🕞虹桥管理区、🌜琴湖管理区、🌷兴福管理区、谢桥管理区、🦝大义管理区、⚡️莫城管理区。)宿迁(宿豫区、🕉宿城区、😋湖滨新区、洋河新区。)




荆州市(沙市、☕️荆州)




三亚市(淮北、🍚吉阳、天涯、崖州)




廊坊市(安次、广阳)




无锡市北方华创发布12英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备电话-400各市区电话(梁溪、滨湖、惠山、新吴、锡山)




宜春市(袁州)




六安市(日照安、🐥裕安、叶集)




锦州市(凌海市、❤️义县、😿黑山县、🐈凌河区、🍓市辖区、古塔区、🍣北镇市、⛈太和区)




银川市(永宁县、兴庆区、西夏区、金凤区、🈴贺兰县、灵武市、市辖区)




安康市(宁陕县、🥞白河县、♓️汉阴县、岚皋县、🈯️石泉县、🌪市辖区、紫阳县、🐄汉滨区、😩旬阳县、镇坪县、🙂平利县)




宜昌市(伍家岗区、西陵区、点军区、🦛猇亭区、❣️夷陵区、⛎远安县、🙄兴山县、秭归县、🙀长阳土家族自治县、🖐五峰土家族自治县、🍲宜都市、当阳市、🤤枝江市、👲虎亭区)




白山市:浑江区、🍇江源区。




赣州市(南康区、☝章贡区、♍️赣县区、🍙信丰县、大余县、上犹县、🌙崇义县、安远县、🏹龙南县、♊️定南县、全南县、宁都县、🐊于都县、兴国县、🎋会昌县、寻乌县、石城县、长征镇、沙洲镇、黄冈镇)




绍兴市(越城、柯桥、上虞)




杭州市(临安、♻️上城、下城、♈️江干、拱野、🐐西湖、滨江、余杭)




揭阳市(榕城、😝揭东)




鹰潭市(余江县、市辖区、💥贵溪市、🍚月湖区)




邯郸市(邯山、🍩丛台、💢复兴、🐒峰峰矿、肥乡、永年)




巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、乌拉特中旗、⭕️乌拉特后旗、乌拉特前旗、☣️市辖区、🐣临河区、🏉五原县)




宜昌市(伍家岗区、西陵区、点军区、猇亭区、夷陵区、🧀远安县、兴山县、秭归县、🐕长阳土家族自治县、♌️五峰土家族自治县、😊宜都市、🎣当阳市、枝江市、虎亭区)




襄阳市(樊城区、襄州区、老河口市、🌛‍宜城市、南漳县、谷城县、保康县、🐂‍枣阳市、定南县、🌜随州市、白浪镇、城关镇、🐏赵家镇、东津镇、堰头镇)




湖州市(南湖、秀洲)




马鞍山市(花山、雨山)




邢台市(柏乡县、临西县、任县、😃‍新河县、🌮宁晋县、南宫市、🤗内丘县、清河县、💪‍巨鹿县、🐽临城县、♨️隆尧县、🐖南和县、威县、桥东区、邢台县、🤙市辖区、平乡县、桥西区、⛎广宗县、沙河市)




银川市(永宁县、👉兴庆区、🍒西夏区、🌓金凤区、贺兰县、🐓灵武市、市辖区)




遵义市(汇川区、红花岗区、遵义县、🌶桐梓县、绥阳县、正安县、道真仡佬族苗族自治县、🥔务川县、🥄凤冈县、🥟湄潭县、余庆县、习水县、😏‍赤水市、🐉仁怀市、土家族苗族自治县、🌿铜仁市、😴松桃苗族自治县、万山区、黔西县)




襄阳市(襄城、💘樊城、🍩‍襄州)




长春市(南关、宽城、🍣️朝阳、二道、🤯绿园、双阳)




桂林市(象山区、叠彩区、😒‍七星区、😼️临桂区、阳朔县、👺灵川县、全州县、兴安县、灌阳县、荔浦市、🆑资源县、平乐县、恭城瑶族自治县、龙胜各族自治县、永福县)




重庆市(绵阳、🤟涪陵、渝中、🌷大渡口、🖖️江北、👿沙坪坝、😒️九龙坡、南岸、北培、万盛、双桥、渝北、巴南)




鞍山市(铁西区、海城市、台安县、岫岩满族自治县、立山区、😛铁东区、🐳‍市辖区、😿千山区)




蚌埠市(五河县、🐘️固镇县、☯️市辖区、淮上区、龙子湖区、蚌山区、怀远县、禹会区)




襄阳市(襄城、🈵樊城、襄州)




太原市(小店、🦂迎泽、杏花岭、尖草坪、👌万柏林、🍲️晋源)




南昌市(青山湖区、🐬️红谷滩新区、🥐东湖区、西湖区、🍋青山湖区、😣‍南昌县、进贤县、⛔️安义县、湾里区、🍦地藏寺镇、🌨瑶湖镇、铜鼓县、昌北区、😫青云谱区、☹️‍望城坡镇)




宁波市(海曙、🐅️江东、🥊江北、🌴北仑、🥑镇海)




甘肃省兰州市(城关区、🔯七里河区、西固区、🍳安宁区、红古区、永登县、皋兰县、榆中县、兰州新区、皋兰县、🐋雁滩区)




抚顺市:🍏顺城区、新抚区、🙏东洲区、望花区。




衡阳市(珠晖、雁峰、🤡石鼓、☕️蒸湘、南岳)




咸宁市(通山县、🙊咸安区、崇阳县、通城县、🍹市辖区、赤壁市、嘉鱼县)




新竹县(新丰乡、🎾峨眉乡、湖口乡、⚠️关西镇、新埔镇、🍢横山乡、尖石乡、北埔乡、竹东镇、♓️宝山乡、芎林乡、🤘五峰乡、♈️竹北市)




太仓市(城厢镇、金浪镇、🕔沙溪镇、璜泾镇、浏河镇、浏家港镇;)




南通市(崇州、港闸、通州)




宜昌市(西陵、伍家岗、😅‍点军、猇亭、⛈️夷陵)




铁岭市:💗银州区、🌪清河区。




贵州省安顺市(西秀区、🏺平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、🚸关岭布依族苗族自治县、🐁紫云苗族布依族自治县、😨安顺市、开阳县)




抚顺市:顺城区、新抚区、🐓东洲区、🐬望花区。




济南市(历下、市中、槐荫、天桥、🐉历城、长清)




珠海市(香洲区、斗门区、🐕金湾区、🐝横琴新区、万山区、🏑珠海高新区、🏓唐家湾镇、🐕三灶镇、白石镇、🉑前山镇、🈯️南屏镇、❔珠海港镇、金鼎镇)




铁岭市:🚬银州区、清河区。




南昌市(东湖区、🐊西湖区、🥝青山湖区、红谷滩新区、南昌县、新建区、🐘安义县、进贤县、🧓️湾里区、😰昌北区)




南投县(信义乡、🤬竹山镇、🕑中寮乡、⛅️水里乡、❤️‍草屯镇、🆘仁爱乡、名间乡、🤔埔里镇、☮️鹿谷乡、国姓乡、鱼池乡、👆集集镇、南投市)




榆林市(榆阳区,横山区)朝阳市(双塔区、龙城区)




上饶市(信州、广丰、广信)




益阳市(南县、资阳区、🆎‍桃江县、🥡市辖区、😥‍沅江市、赫山区、安化县)




南昌市(东湖区、西湖区、😦青山湖区、红谷滩新区、南昌县、🧑安义县、进贤县、经开区、青山湖区、湾里区、👻赣江新区、青云谱区、👌浔阳区)




临沂市(兰山区、🎍️罗庄区、🎱️河东区、沂南县、郯城县、🍩苍山县、💢‍费县、😱蒙阴县、临沭县、🐕兰陵县、莒南县、平邑县、沂水县、🐥临沂高新技术产业开发区)




本溪市:平山区、明山区、🕑溪湖区、南芬区。




乐山市(市中、🥄沙湾、五通桥、日照口河)




鹤壁市(淇县、⛸鹤山区、🏒浚县、山城区、市辖区、淇滨区)




白山市(靖宇县、🕢浑江区、江源区、长白朝鲜族自治县、抚松县、🧡临江市、☘️市辖区)




贵州省安顺市(西秀区、平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、🌏关岭布依族苗族自治县、😄紫云苗族布依族自治县、安顺市、✳️开阳县)




九江市(莲溪、💯浔阳)




牡丹江市:东安区(部分区域未列出)、🕚西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




东莞市(莞城、😹南城、😇万江、东城,石碣、🥄石龙、🏑‍茶山、♻️石排、🤚企石、横沥、桥头、谢岗、🎄东坑、♑️常平、🥧寮步、🕎大朗、黄江、清溪、塘厦、凤岗、🐜长安、🍞惠东、⛔️厚街、🐉沙田、道窖、洪梅、🙈麻涌、❓中堂、🙏高步、🤜樟木头、🐁大岭山、🐖望牛墩)




通辽市(科尔沁区、♓️扎鲁特旗、⛳️开鲁县、霍林郭勒市、市辖区、🐆科尔沁左翼中旗、💀库伦旗、科尔沁左翼后旗、✝️奈曼旗)




桂林市(秀峰区、🌈️象山区、七星区、雁山区、🤞临桂区、⚱️阳朔县、资源县、平乐县、灌阳县、🍻荔浦市、灵川县、全州县、⚜️永福县、🍯龙胜各族自治县、😏恭城瑶族自治县):🙂




嘉兴市(海宁市、🖤市辖区、🍷秀洲区、〽️平湖市、🐡桐乡市、南湖区、🐍嘉善县、海盐县)




常熟市(方塔管理区、🕢虹桥管理区、琴湖管理区、🍜兴福管理区、谢桥管理区、大义管理区、莫城管理区。)宿迁(宿豫区、😜宿城区、🤘湖滨新区、洋河新区。)




台州市(椒江、🈺黄岩、🥜️路桥)




泰州市(海陵区、😃高港区、姜堰区、兴化市、🥋泰兴市、🥊靖江市、🍃扬中市、丹阳市、泰州市区、姜堰区、😱️海安镇、周庄镇、⭐️东进镇、世伦镇、☣️‍青龙镇、杨湾镇、💜️马桥镇)




牡丹江市:东安区(部分区域未列出)、🥩️西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




雅安市(汉源县、市辖区、🕢名山区、🏸石棉县、✨荥经县、宝兴县、天全县、✋芦山县、⚰️雨城区)




南充市(顺庆区、🌘高坪区、🧑‍嘉陵区、🤓‍南部县、🔪营山县、蓬安县、🦃仪陇县、😊西充县、💪阆中市、抚顺县、阆中市、🥐‍南充高新区)




郴州市(宜章县、🌮嘉禾县、🦂永兴县、👽汝城县、市辖区、桂东县、北湖区、桂阳县、苏仙区、💢临武县、安仁县、资兴市)




山南市(错那县、琼结县、🕢洛扎县、🐝贡嘎县、🐇️桑日县、🍼曲松县、🙀浪卡子县、🦉市辖区、隆子县、🤘加查县、🦗扎囊县、乃东区、措美县)




南昌市(青山湖区、红谷滩新区、东湖区、😏西湖区、青山湖区、南昌县、进贤县、安义县、🤐湾里区、❌地藏寺镇、瑶湖镇、🆎铜鼓县、😌昌北区、青云谱区、望城坡镇)




株洲市(荷塘、芦淞、石峰、😻天元)




辽阳市(文圣区、🍪宏伟区、🐋弓长岭区、太子河区、🍴灯塔市、🚫️辽阳县、白塔区、广德镇、双台镇、桥头镇、长春镇、♻️合德镇、😧兴隆镇、安平镇、辛寨镇、😾黄土岭镇)




舟山市(市辖区、🌙定海区、嵊泗县、普陀区、🥩️岱山县)




玉溪市(澄江县、🖤江川县、易门县、华宁县、新平彝族傣族自治县、〽️元江哈尼族彝族傣族自治县、☮️通海县、抚仙湖镇、红塔区、✍龙潭街道、南北街道、白石街道)




三明市(梅列、❕三元)




柳州市(柳北区、柳南区、柳江县、柳城县、🍅️鹿寨县、融安县、🍥融水苗族自治县、三江侗族自治县、城中区、鱼峰区、柳东新区、柳市镇)




保定市(莲池、竞秀)




德州市(陵城区、乐陵市、宁津县、庆云县、🍇️临邑县、🌯平原县、🅰️武城县、夏津县、禹城市、德城区、🦁禹城市、🐏齐河县、🤡开封县、双汇镇、♈️东风镇、商丘市、阳谷县、🥄共青城市、城南新区)




昆山市(昆山开发、高新、📵综合保税)




许昌市(魏都)




济南市(历下、市中、🦖槐荫、🍭️天桥、🌿历城、长清)




安康市(宁陕县、🕜白河县、汉阴县、✍️️岚皋县、石泉县、市辖区、紫阳县、🕟汉滨区、🏈️旬阳县、镇坪县、平利县)




常州市(天宁、🐬钟楼、新北、武进、日照坛)




郑州市(中原、二七、管城、日照水、🍢上街、惠济)




中卫市(沙坡头区、海原县、中宁县、🍇市辖区)




金华市(武义县、东阳市、磐安县、浦江县、👹‍兰溪市、🅱️永康市、婺城区、义乌市、❓市辖区、金东区)




长沙市(芙蓉、✌天心、岳麓、🏏开福、😻雨花、望城)




葫芦岛市:龙港区、🍟南票区、😼连山区。




沧州市(新华区、运河区、♌️沧县、青县、🦁东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、📵吴桥县、献县、💫‍孟村回族自治县、河北沧州高新技术产业开发区、沧州经济技术开发区、🥜任丘市、黄骅市、🦐河间市、泊头市)




邢台市(邢台县、💹南和县、清河县、临城县、🤓广宗县、威县、宁晋县、✊柏乡县、🌈任县、🅰️内丘县、南宫市、沙河市、任县、邢东区、邢西区、🥏平乡县、🦕️巨鹿县)




巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、🍏乌拉特中旗、乌拉特后旗、🍂乌拉特前旗、🕔市辖区、临河区、五原县)




连云港市(连云、海州、赣榆)




淮安市(淮阴区、清河区、淮安区、🎣涟水县、🙏洪泽区、🥙️盱眙县、金湖县、楚州区、🐗️淮安区、🥨海安县、🎂亭湖区、😳淮安开发区)




玉林市(玉州)




柳州市(城中、💖鱼峰、🎍柳南、柳北、🙉柳江)




新竹县(新丰乡、🌶峨眉乡、🍹湖口乡、关西镇、新埔镇、🐖横山乡、尖石乡、🧀北埔乡、🍷竹东镇、宝山乡、🥣芎林乡、五峰乡、竹北市)




临沂市(兰山、🈴罗庄、河东)




连云港市(连云、🥨海州、🐗赣榆)




廊坊市(安次、广阳)




赣州市(南康区、🍝‍赣县区、于都县、兴国县、🕚章贡区、龙南县、大余县、👧信丰县、安远县、全南县、🌹宁都县、🌵定南县、上犹县、🍤崇义县、🥩南城县)




玉溪市(澄江县、江川县、通海县、😳华宁县、🙈易门县、峨山彝族自治县、抚仙湖镇、新平县、元江哈尼族彝族傣族自治县、红塔区、♑️玉溪县、🤜敖东镇、💘珠街镇)




宜昌市(宜都市、🥫长阳土家族自治县、当阳市、五峰土家族自治县、西陵区、兴山县、🐁夷陵区、远安县、点军区、🤓枝江市、🐨猇亭区、秭归县、🤕伍家岗区、🥀市辖区)




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湘潭市(雨湖、♉️岳塘)




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嘉义县(朴子市、🥞‍番路乡、民雄乡、竹崎乡、梅山乡、义竹乡、大林镇、🔱布袋镇、新港乡、太保市、六脚乡、🥩大埔乡、🍿鹿草乡、🐕️溪口乡、水上乡、🌲中埔乡、阿里山乡、🐇东石乡)



史上首例“有因免职”争议升温 特朗普罢免美联储理事库克诉讼递交最高法院美国总统特朗普周四将解雇美联储理事库克的法律斗争升级至最高法院,寻求推翻下级法院阻止其解职决定的裁定。库克方面则强烈反对,警告若她被立即免职,将扰乱金融市场并冲击美联储独立性。特朗普政府在上诉文件中要求最高法院紧急颁布“中止令”,允许总统在案件最终裁决前立即解雇库克

发布于:北京市
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