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中国科学家在研究, 下一代EUV光刻机, 采用6.7nm波长光源?

中国科学家在研究, 下一代EUV光刻机, 采用6.7nm波长光源?

更新时间: 浏览次数: 258

在芯片制造中,光刻机是最核心的设备。

而EUV则是制造7nm以下芯片必不可少的设备,且全球只有ASML一家能够制造,美国还不允许它卖给中国企业。

所以制造出国产EUV就相当重要了,因为如果没有国产EUV,我们的芯片工艺要进入7nm以下,几乎不太可能。

也许能够多重曝光,用浸润式光刻机,也能够制造出7nm以下芯片,但多重曝光会显著降低良率,提高成本,实际上是无法大规模量产商业化的。

目前ASML的EUV光刻机,其采用的方式是LPP路线,即用高能激光器轰击锡滴产生等离子体,释放出13.5nm波长的光源,也就是极紫外线。

在这一条路线上,ASML绑定了蔡司、Cymer等等核心企业,这些核心企业是全球唯一,无可替代,可以说ASML断了其它很多企业的EUV之路。

所以说,如果我们要研发EUV光刻机,更好的办法是弯道超车,或者换道超车。

而近日,有消息指出,目前国内的科学家们其实发现,EUV的下一代,可能是采用更高级的光源,比如采用6.7nm或4.4nm的波长光线。

在光刻中,如果光线波长越小,那么其分辨率是越高,越是能够制造出更先进的芯片的。

科学家们认为,如果能够采用6.7nm和4.4nm的光线,那么其精度比当前13.5nm波长高很多,能够制造的芯片工艺也会先进很多。

目前中国科学家已经在尝试用钆代替锡为材料,激发出6.7nm波长的光线来。而这种光刻机的透镜,则采用镧和硼。

这样我们就能够绕开ASML设的坎,绕开蔡司、Cymer等等核心企业,走出一条属于中国的光刻机之路来。

不过,困难也有很多,比如波长较短时,反射率较差,要收集这些光线,相当困难。另外波长更短,能量分布在更少的光子上,出错的几率也会增加。

但不可否认的是,如果这一切真的实现了,那么国产光刻机,将跳过EUV,进入更高一个层次,那么卡住我们的光刻机,将再也不是问题了,反而全球的芯片厂,都要找我们买光刻机了。

当然,技术路线从理论到商用,中间会有一个漫长的过程,大家要有耐心一点,同时最终能不能商用落地,也不一定,但必须要不断的研究,才有可能最终商用,所以大家多些支持鼓励,少些嘲讽,你觉得呢?

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发布于:北京市
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